專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發,生產和銷售,產品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列,圖形晶圓缺陷檢測設備系列,三維形貌量測設備系列,薄膜膜厚量測設備系列等產品,已應用于國內28nm及以上制程的集成電路制造產線.

公司專注于高端半導體質量控制領域，為半導體行業客戶提供涵蓋設備產品、智能軟件產品和相關服務的全流程良率管理解決方案。在設備產品方面，公司通過在光學檢測技術、大數據檢測算法和自動化軟件領域的自主研發和不斷創新，在多項半導體質量控制設備關鍵核心技術上達到國際領先水平，形成了集成電路制造過程中所有關鍵工藝環節所需的主要種類設備產品組合，使得公司能夠為不同類型的集成電路客戶提供全面覆蓋的檢測和量測設備供應保障，支持客戶的量產工藝需求和未來工藝研發需求；在智能軟件產品方面，公司將人工智能和大數據技術應用到半導體質量控制數據上，形成了一系列提升高端半導體制造良率的軟件產品，這些軟件產品能夠在檢測和量測設備的基礎上進一步為客戶在良率管理中賦能，形成完整的質量控制設備和智能軟件相結合的良率管理閉環，為客戶實現最大化的質量控制對良率管理的提升效果。