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一、公司簡介
微導納米是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備制造商。公司形成了以原子層沉積(ALD)技術為核心,化學氣相沉積(CVD)等多種真空薄膜技術梯次發展的產品體系,專注于先進微米級、納米級薄膜設備的研發、生產與銷售,向下游客戶提供先進薄膜設備、配套產品及服務。
在半導體領域內,公司是國內首家成功將量產型High-k原子層沉積(ALD)設備應用于28nm節點集成電路制造前道生產線的國產設備廠商,已與國內多家廠商建立了深度合作關系,相關產品涵蓋了邏輯、存儲、化合物半導體、新型顯示等諸多細分應用領域,多項設備關鍵指標達到國際先進水平。在光伏領域內,公司作為率先將ALD技術規模化應用于國內光伏電池生產的企業,已成為行業內提供高效電池技術與設備的領軍者之一,與國內頭部光伏廠商形成了長期合作伙伴關系。同時,公司跟隨下游廠商的量產節奏,持續優化XBC、鈣鈦礦/異質結疊層電池等新一代高效電池技術。根據公開的市場數據統計,公司ALD產品已連續多年在營收規模、訂單總量和市場占有率方面位居國內同類企業第一。
2023年前三季度,公司根據訂單節奏安排產品交付并推進客戶驗收,前期在手訂單陸續實現收入轉化,專用設備產品驗收數量增長導致公司營業收入較上年同期較快增長,從而使得公司業績相比去年同期實現較大規模增長。2023年前三季度公司實現營業收入10.22億元,同比增加165.30%;實現歸屬于母公司所有者的凈利潤1.55億元,同比增加1.58億元。
二、主要交流問題及回復
1、公司目前在手訂單情況如何?后續訂單展望?
截至2023年三季度末,微導納米在手訂單約70.82億元,同比增長258.58%。其中,半導體在手訂單同比增長412.15%,光伏在手訂單同比增長244.32%,在手訂單規模高增,有望助力公司未來業績持續增長,后續訂單情況請關注公司后續公開披露信息。
2、公司目前產品拓展進展如何?
公司圍繞核心技術布局了半導體、光伏、柔性電子以及多個具有潛力的新興領域,設立相應的事業部推動核心技術的產業化。通過多領域發展,降低了單一行業周期性波動帶來的影響。同時,不同行業之間保持技術協同性,公司形成以ALD為核心,CVD等多種真空薄膜技術梯次發展的產品體系,構建了獨有競爭優勢。
當前公司產品拓展成效開始初步顯現,光伏設備訂單結構更加多元化,對TOPCon電池主要工藝環節覆蓋,并儲備了新一代的高效電池技術。半導體各細分領域內持續獲得行業知名客戶訂單,涵蓋邏輯、存儲、第三代半導體和硅基顯示等領域。
3、ALD技術在半導體存儲領域內的前景如何?
ALD技術在DRAM、3D NAND和新型存儲等方面均有十分良好的應用前景。DRAM領域內,隨著存儲器容量不斷增大,其內部的電容器數量隨之劇增,而單個電容器的尺寸將進一步減小,器件內部溝槽以及深孔的深寬比也越來越大,因此對具備高均勻性、高臺階覆蓋率和對膜厚的精確控制的ALD技術需求越來越大。NAND領域,隨著3D結構內部層數不斷增高,元器件逐步呈現高密度、高深寬比結構,ALD可以實現高深寬比特征下的均勻鍍膜,其應用隨著層數的增加而不斷的增大。
4、ALD與其他薄膜沉積技術之間存在什么關系嗎?
薄膜制備依據的基礎原理不同,因此薄膜沉積設備的工藝存在不同的技術路線。物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)三類薄膜沉積技術均為目前半導體領域的主流技術路線,但各技術適用的環節有所不同。在芯片的制造過程中,涉及十余種不同材料的薄膜、數十種工藝類型、上百道工藝環節,需要不同性能和材料的薄膜,因此PVD、CVD、ALD三類薄膜沉積技術依靠各自技術特點拓展適合的應用領域,材料制備上相互補充。
5、設備廠商在不同類型的薄膜沉積技術之間進行延展有難度嗎?
對于設備廠商來說,不同技術路線工藝原理不同,工藝設備對可沉積的薄膜材料及性能、對關鍵零部件的選擇有所不同,因此不同技術路線涉及的專業知識領域存在差別。
同時,細分市場之間也是存在技術壁壘、市場壁壘和客戶認證壁壘。不同類型的薄膜沉積技術在供源技術、反應過程控制技術、在快速控制和切換技術等多個方面有質的區別,技術難度側重點也不相同。
6、公司光伏領域設備平均毛利率略高主要是什么原因?
主要是由于目前公司光伏設備中市場競爭力水平較強的ALD設備占比較高。公司ALD設備的鍍膜具有薄膜厚度小、均勻性高、TMA消耗量少等優點,在TOPCon電池具有金字塔絨面的正面Al2O3鈍化層制備中,公司的ALD設備正成為主流技術路線。通過持續的研發,公司保持著產品的領先優勢,對于產品定價有相對較高的話語權,占據了較高的市場份額,因此毛利率相對較高。
7、公司對TOPCon等光伏技術路線的發展狀況看法如何?
隨著PERC電池片的量產平均轉換效率已逐漸接近理論極限,TOPCon、HJT、XBC等新型電池技術路線正逐步成為電池技術的主要發展方向。新建量產產線開始主要聚焦于TOPCon、HJT兩種技術路線。其中,TOPCon技術憑借其較高的轉換效率、相對成熟的設備與工藝、較高的量產性價比,在N型路線中率先脫穎而出,2022年下半年開始規模化量產,并隨著技術提升和量產規模擴大,相對其他技術路線,其經濟性也在持續增強。根據中國光伏行業協會預測,至2030年TOPCon將占據約一半以上的電池市場。
8、公司未來新一代的電池技術的布局如何?
在光伏領域內,公司作為行業內提供高效電池技術與設備的領軍者之一,與國內頭部光伏廠商形成了長期合作伙伴關系。目前,TOPCon正逐步成為主流,同時行業內也在積極探索或布局HJT、XBC、鈣鈦礦等新興太陽能電池技術。公司對不同的技術路線都做了布局和儲備,并跟隨下游廠商的量產節奏,持續優化XBC、鈣鈦礦/異質結疊層電池等新一代高效電池技術。