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第一部分:

賽微電子控股子公司賽萊克斯北京首席科學家YuanLu博士介紹了北京FAB3所擁有的硬件、研發方向、知識產權、代表性工藝技術以及如何構建MEMS共性關鍵技術工具箱。

上市公司簡要介紹了公司的基本情況、發展歷程、核心業務、產業角色、全球化布局、發展戰略、商業模式、競爭格局、MEMS產品晶圓路線圖等。

賽微電子是全球領先、國際化運營的MEMS晶圓制造廠商,擁有自主知識產權并掌握核心半導體制造技術。公司當前的核心工作為持續提升境內外產線的產能、利用率及良率,同時正在打造晶圓級先進封裝測試能力。公司看好萬物互聯、人工智能時代背景下基礎智能傳感器件的市場需求,同時對自身的半導體制造工藝及綜合競爭實力充滿信心。與此同時,公司組織安排了FAB3產線(含BAW濾波器專線)潔凈間的參觀活動。

第二部分:

上市公司解答提問,主要提問及解答如下:

1、公司MEMS業務的收入結構及變化趨勢如何?

答:公司MEMS業務主要包括通訊、生物醫療、工業汽車和消費電子四大領域,收入結構及變化受客戶及終端市場需求所帶動影響。

根據過去幾年的業務數據,MEMS在各領域的代工需求均在增長,但不同業務領域在不同時期可能會產生一些明顯的波動因素,比如4G和5G的發展刺激了通訊領域的需求;COVID19疫情顯著刺激了下游生物醫療客戶的需求;汽車產業的變化、元宇宙的興起又帶動了車載MEMS器件、AR/VR傳感器等相關硬件的新需求。

公司的角色是MEMS晶圓制造廠商,為下游各領域客戶提供優質的工藝開發及晶圓制造服務,公司并不會去主動規劃收入結構,但會根據相關應用領域當前及未來的需求展望在產能、工藝、團隊等方面做一些傾向性準備。基于MEMS平臺工藝制造的各類智能傳感系統是萬物互聯、人工智能時代背景下被廣泛應用的基礎器件,公司長期看好各領域的未來需求。

2、請介紹北京FAB3的產品結構以及未來會出現何種變化?

答:通俗地講,公司北京FAB3一直在“臥薪嘗膽、苦練內功”,基于自主基礎核心工藝,持續開拓消費電子、工業汽車、通信、生物醫療等各領域的客戶及MEMS晶圓類別,尤其是具備量產潛力的領域及產品。北京FAB3正在盡快推進MEMS硅麥克風、BAW濾波器、MEMS激光雷達、MEMS基因測序、MEMS慣性IMU(包括消費級市場,工業級汽車市場)、MEMS微振鏡、MEMS硅光子、MEMS微流控、MEMS氣體傳感器件等的風險試產及量產進程,業務及產品結構將隨之動態變化。與此同時,北京FAB3將持續提升產能及工藝能力,持續拓展新的市場及產品領域。

3、請問貴公司北京FAB3的產能建設是如何規劃的?請問該部分新增產能未來如何進行消化?

答:北京FAB3已建成并運轉一期產能為1萬片/月,同時正在持續推進建設二期產能2萬片/月(二期潔凈廠房裝修裝飾工程已完成工程竣工驗收備案,設備正在陸續Movein),合計為3萬片/月,其中包括了公司與武漢敏聲合作建設的BAW濾波器專線。

自2020年9月通線以來,北京FAB3產線已經成功導入超過15家國內外知名MEMS客戶(且集團要求每年連續新增客戶及產品),已經開展合作的產品項目數十個,正在持續推動MEMS硅麥、電子煙開關、慣性器件、BAW(含FBAR)濾波器、振鏡、氣體、微流控、硅光通信等不同類別、不同型號產品的工藝開發及產品驗證,且重點領域的良率水平持續提升。

公司認為,隨著物聯網與人工智能時代的到來,物理世界與數字世界需要相互連接的橋梁,基礎感知及執行器件的應用場景將越來越豐富,通過半導體工藝批量標準化制造的MEMS芯片,具備小型化、低成本、低功耗、高集成度等突出特點,正在對部分傳統傳感器件進行滲透及替代,擁有良好的發展前景。如果將人工智能比喻為人體的大腦和神經網絡,那么各類MEMS芯片就是人體的耳、目、鼻、舌、膚、手臂、足膝等等感知器官和執行器官,軟件與硬件的發展相互促進、持續迭代。公司正在境內外持續建設及擴充MEMS芯片產能,在智能傳感產業景氣度逐步攀升的背景下,隨著公司以中長期視角逐步建立和培育MEMS產業鏈生態,公司在瑞典和北京的產能預計都將得到更高水平的利用。

MEMS在本質上是一項制造工藝,即以半導體手段大規模生產制造芯片級各類智能傳感器件。此前外界對MEMS的認知可能僅局限于傳感大類中的消費電子器件,但其實傳感本身就包含了聲、熱、光、電、磁等各類自然界物理信號,而且對于MEMS而言,除了傳感大類,還包括生物、光學、射頻等大類,公司認為MEMS必將受益于以上各類應用場景的蓬勃發展。

4、2022年公司瑞典產線的產能利用率和良率較低的主要原因是什么?請問如何規劃此前收購的瑞典斯德哥爾摩半導體生產制造園區?

答:瑞典FAB1&FAB2的定位屬于中試+小批量產線,其產能利用率及生產良率均受到工藝開發業務的影響,而工藝開發對產線的產能利用率天然低于晶圓制造業務,且由于屬于開發試驗階段,生產良率并非是產線與客戶雙方在當前階段所首要注重考慮的因素。除國際政治環境、市場波動及客戶結構調整因素外,此前在預期針對德國FAB5的收購可以快速實現的背景下,公司持續推動瑞典、德國產線之間的產能擴充、遷移及結構調整工作,對瑞典產線的定位、其自身的運營及產能的使用也構成顯著影響。

此前受限于物理空間,瑞典MEMS產線的產能擴充條件有限,主要依賴于瓶頸設備的更新換代。本次收購半導體產業園區能夠為公司MEMS工藝開發及晶圓制造業務在瑞典當地的擴充發展提供可預期的現實條件。目前,瑞典產線正在積極建設擴充新增產能,將逐步形成從中試到量產的銜接服務能力。5、請問公司與武漢敏聲合作的產線進展如何?合作產線的產能是多少?

答:公司與武漢敏聲以共同購置設備的方式合作建設的北京8英寸BAW濾波器聯合產線已于2022年底實現通線,雙方一直就數款BAW濾波器開展相關工作,工藝開發及試產工作符合預期,專線產品類別增加,良率水平大幅提升,量產事宜正在積極準備中。該產線初期建成的產能為2,000片晶圓/月,后可擴展至1萬片晶圓/月的水平。

6、請問隨著5G、6G等高頻通信的發展,為何MEMS制造工藝變得越來越重要?具體涉及哪些工藝?

答:隨著信息技術的進一步發展,高速化信息處理、高頻化信號傳輸成為數字電路發展的新特征,伴隨著不斷增加的信息量及信息傳輸效率需求,終端設備也朝著高頻化迅速過渡。在高頻率信號狀態下,因材料的趨膚效應、電介質極化等因素,絕緣材料的電隔離度大大下降,高頻通信終端里各射頻、微波單元間的信號傳輸路徑、多傳輸線路的交錯等造成了嚴重的電磁干擾、噪音等問題。

傳統工藝制造的射頻微波器件難以在高頻通信中得到有效地應用(主要是難以解決高隔離度要求與小尺寸和高集成度的矛盾),而采用MEMS制造工藝能夠解決傳統工藝的不足,通過特殊的精細結構來有效控制電磁波信號的各種傳輸損耗,具有高頻狀態低損耗、低噪音、散熱能力良好的特點,使得以新MEMS工藝制造的高頻通信器件能夠廣泛應用于衛星接收、基站、手機、導航、運輸、倉儲等各類領域。平時大家比較聚焦的還是手機,但在萬物互聯時代,高頻通信器件的應用可以說是無處不在。

MEMS高頻通信器件的“制造工藝”包括:高品質晶體壓電薄膜的制備,低損耗高頻電磁波傳輸結構的制備,射頻/微波器件的晶圓級異質異構集成成套工藝等,高頻通信器件必須通過嚴苛的微觀尺寸、成分以及結構的高度一致性,來達到對通信頻段的準確反應,同時,必須通過特別的精細結構和材料微觀結構來嚴格控制電磁波信號的各種傳輸損耗,制造困難程度大大高于一般的MEMS器件。在長期實踐中,公司已積累相關工藝訣竅并建立成套專利體系。

7、請介紹當前BAW濾波器的市場競爭格局以及國內廠商的競爭機會?

答:隨著通信技術的發展,通信頻段數量從2G時代的個位數增長至5G時代的約70-100個。YoleDevelopment預計,到2025年,射頻前端的市場規模可達250億美元,目前絕大部分被思佳訊Skyworks、Qorvo、博通Broadcom(Avago)、村田MURATA及高通Qualcomm(RF360)等國際射頻巨頭所壟斷,國產器件自給率不足5%。而射頻前端中價值最高的濾波器,行業市場集中度更高,美、日廠商憑借先進技術形成壟斷和壁壘,BAW濾波器龍頭公司博通Broadcom(Avago)的市場占有率更是高達約90%。在當前復雜的國際政經環境下,國內產業界急需國內廠商突出重圍、打破壟斷,實現徹底的本土國產替代,因此,對于國內BAW濾波器廠商而言,挑戰與機遇并存。

8、請問相比其他類別,FABR濾波器有何優勢和劣勢?

答:濾波器按照聲波傳遞類型,分為SAW(SurfaceAcousticWave,聲表面波濾波器)和BAW(BulkAcousticWave,帶諧振腔體聲波濾波器,包括BAW-SMR和FBAR)兩類細分市場,與BAW-SMR相比,FBAR具有易于高頻化、低損耗、高Q值等優點,可應用于5G、6G及更高頻通信場景,但FBAR的工藝較為復雜,需要基于薄膜技術,采用MEMS工藝在硅片上進行制造,在性能領先的同時,需要能夠實現高良率制造,以提高性價比優勢。9、請問公司對于材料、設備的國產化方面是如何考慮的?

答:北京FAB3產線最早的思路是在工藝參數、設備配置等方面完全復刻子公司瑞典Silex的8英寸產線,因此一期產能的工藝制造設備從數量和金額角度均是以境外采購為主,材料方面也是有較高的比例從境外采購。

為應對日益復雜的國際環境以及不排除未來的措施升級及擴大化,公司一直在加大關鍵原材料及生產工藝設備的采購及儲備力度,同時加強與本土自主可控廠商的合作。隨著國內設備廠商的實力逐步增強,FAB3在持續運營過程中正在不斷加大國內設備、材料的采購比例,進一步提高國產化比例。對于公司下一步建設的中試線、量產線、封測線,將綜合新購國際知名半導體設備、成熟產線設備、國產設備等各種方式,公司將根據經營發展需要、客觀實際情況做出合理的商業決策。